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硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法

标准编号
GB/T 14146-2009
中图分类号
H80
ICS分类号
29.045
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
摘要
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容?电压测量方法。 本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。测量范围为:4×1013cm-3~8×1016cm-3。 本标准测试的硅外延层的厚度必须大于测试偏压下耗尽层的深度。 本标准也可适用于硅抛光片的载流子浓度测量。

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