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电子工业用气体 氯化氢

标准编号
GB/T 14602-2014
中图分类号
G86
ICS分类号
71.100.20
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
摘要
本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。 本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。 分子式:HCl。 相对分子质量:36.458(按2009年国际相对原子质量计算)。

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