你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

电子工业用气体 氧

标准编号
GB/T 14604-2009
中图分类号
G86
ICS分类号
71.100.20
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
摘要
本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二 氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。

相似标准