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离子束蚀刻机通用规范

标准编号
GB/T 15861-2012
中图分类号
L97
发布单位
工业和信息化部（电子）
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2012-11-05
实施日期
2013-02-15
摘要
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 本 标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

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