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离子注入机通用规范

标准编号
GB/T 15862-2012
中图分类号
L97
发布单位
工业和信息化部（电子）
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2012-11-05
实施日期
2013-02-15
摘要
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。

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