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电子工业用气体　三氯化硼

标准编号
GB/T 17874-2010
中图分类号
G86
ICS分类号
71.100.20
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-04-01
实施日期
2011-05-01
摘要
本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

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