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电子工业用气体 六氟化硫

标准编号
GB/T 18867-2014
中图分类号
G86
ICS分类号
71.100.20
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
摘要
本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。 本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。 分子式:SF6。 相对分子质量:146.0564192(按2007年国际相对原子质量计算)。

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