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钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法

标准编号
GB/T 22462-2008
中图分类号
N33
ICS分类号
17.180
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2008-10-30
实施日期
2009-06-01
摘要
本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜（金属镀膜和氧化膜）中膜厚、镀层质量（单位面积）和薄膜中的元素深度分布。 本方法适用于测定3nm～1000nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括：铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。

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