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标准编号: GB/T 22571-2017
中图分类号: G04
ICS分类号: 71.040.40
发布单位: 国家标准化管理委员会
状态: 现行
标准类别: 国家标准
发布日期: 2017-09-07
实施日期: 2018-01-01
摘要: 本标准规定了一种用于一般分析目的时校准X射线光电子能谱仪结合能标尺的方法，该谱仪使用非单色化Al或Mg X射线或单色化Al X射线。它仅适于带有溅射清洁用的离子枪的仪器。本标准还进一步规定了一种方法，用以建立校准程序、在中间某一能量值测试结合能标尺线性度、在高低结合能区各取一点确认标尺校准的不确定度、对标尺的小漂移作修正以及规定在95％置信度时该结合能标尺校准的扩展不确定度。这个不确定度包括来自实验室际研究中观察到的现象的贡献，但不涵盖所有可能发生的缺陷。本标准不适用有下述情况的仪器：结合能标尺的误差随能量明显非线性变化、工作在固定减速比模式且减速比小于10、谱仪的分辨率差于1.5 eV或者要求容差极限为 ±0.03 eV或更小。本标准不提供全标尺校准检验，该检验要对每一个在能量标尺上能找到的点加以验证，需按仪器制造商的推荐程序进行。