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X射线光电子能谱仪检定方法

标准编号
GB/T 25184-2010
中图分类号
G04
ICS分类号
71.040.40
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2010-09-26
实施日期
2011-08-01
摘要
本标准规定了X射线光电子能谱仪的检定方法。本标准适用于使用非单色化Al或MgX射线或单色化AlX射线,且带有溅射清洁用离子枪的X射线光电子能谱仪的检定。

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