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真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

标准编号
GB/T 25755-2010
中图分类号
J78
ICS分类号
23.160
发布单位
中国机械工业联合会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2010-12-23
实施日期
2011-10-01
摘要
本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。 本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。 本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。

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