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仪器化纳米压入试验方法　薄膜的压入硬度和弹性模量

标准编号
GB/T 25898-2010
中图分类号
A42
ICS分类号
19.060
发布单位
中国科学院
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-05-01
摘要
本标准规定了测试薄膜压入硬度和弹性模量的仪器化纳米压入试验方法。 本标准适用于附着在固体表面的薄膜。压入方向为垂直于试样表面方向,压入深度范围通常在纳米量级,也可以扩展至几微米。

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