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洁净室及相关受控环境　第8部分：空气分子污染分级

标准编号
GB/T 25915.8-2010
中图分类号
C70
发布单位
国家市场监督管理总局(质检)
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-06-01
摘要
GB/T25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的浓度,对空气分子污染(AMC)进行分级。同时,本部分在分级技术要求中,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。 本部分目前只考虑洁净室运行工况下100g/m3~10-12g/m3 的AMC浓度。 本部分不涉及那些虽有空气分子物质存在、但不认为对产品或工艺有风险的行业、工艺和生产。 本部分无意探讨空气分子污染物的特性。 本部分不包含对表面分子污染的分级。

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