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铝蒸发料

标准编号
GB/T 26028-2010
中图分类号
H68
ICS分类号
77.150.99
发布单位
中国有色金属工业协会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
摘要
本标准规定了铝蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于半导体行业用的各类铝蒸发料。其他用途的铝蒸发料也可参照使用。