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化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

标准编号
GB/T 26070-2010
中图分类号
H17
ICS分类号
77.040.99
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
摘要
本标准规定了Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测试方法。 本标准适用于GaAs、InP(GaP、GaSb可参照进行)等化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测量。

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