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微机电系统（MEMS）技术　术语

标准编号
GB/T 26111-2010
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
摘要
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。 本 标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

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