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电子工业用气体 硒化氢

标准编号
GB/T 26249-2010
中图分类号
G86
ICS分类号
71.100.20
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
摘要
本标准规定了硒化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。分子式:H2Se。 相对分子质量:80.97588(按2007年国际相对原子质量计算)。