你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

电子工业用气体　砷化氢

标准编号
GB/T 26250-2010
中图分类号
G86
ICS分类号
71.100.20
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
摘要
本标准规定了砷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。

相似标准