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银靶

标准编号
GB/T 26307-2010
中图分类号
H68
ICS分类号
77.120.99
发布单位
中国有色金属工业协会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-11-01
摘要
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。

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