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俄歇电子能谱分析方法通则

标准编号
GB/T 26533-2011
中图分类号
N33
ICS分类号
17.180;37.020
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-05-12
实施日期
2011-12-01
摘要
本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。 本标准适用于俄歇电子能谱仪。