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利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

标准编号
GB/T 27760-2011
中图分类号
N04
ICS分类号
19.020
发布单位
中国科学院
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-12-30
实施日期
2012-05-01
摘要
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。 本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。 本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。

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