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硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

标准编号
GB/T 28275-2012
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2012-05-11
实施日期
2012-12-01
摘要
本标准规定了采用氢氧化钾腐蚀工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求。 本标准适用于氢氧化钾腐蚀工艺和管理。