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硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范

标准编号
GB/T 28276-2012
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2012-05-11
实施日期
2012-12-01
摘要
本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。 本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。

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