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硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法

标准编号
GB/T 28277-2012
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2012-05-11
实施日期
2012-12-01
摘要
本标准规定了硅基MEMS加工过程中所涉及的微小键合区域键合强度检测的要求和试验方法。 本标准适用于采用微电子工艺及相关微细加工技术制造的微小键合区的剪切和拉压强度测试。

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