你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定

标准编号
GB/T 28632-2012
中图分类号
G04
ICS分类号
71.040.40
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2012-07-31
实施日期
2013-02-01
摘要
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm 的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm 的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm 的仪器。 附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。

相似标准