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微束分析 电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析

标准编号
GB/T 28634-2012
中图分类号
N53
ICS分类号
71.040.99
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2012-07-31
实施日期
2013-02-01
摘要
本标准规定了应用电子探针或者扫描电镜(SEM)的波谱仪(WDS),通过电子束与试样相互作用产生的X射线对试样微米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。 内容包括: ???定量分析原理; ???本方法涉及的元素、质量分数和标准物质的一般范围; ???仪器的一般要求; ???有关试样制备、实验条件的选择、分析测量等的基本过程及报告。 本标准适用于电子束垂直入射,要求定量分析的块状试样表面平滑、均匀。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者应该从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器说明书。

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