你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准编号
GB/T 29056-2012
中图分类号
L90
ICS分类号
31-030
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2012-12-31
实施日期
2013-10-01
摘要
本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等痕量元素含量的方法。 本标准适用于硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等含量的测定。

相似标准