你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

标准编号
GB/T 29057-2012
中图分类号
H80
ICS分类号
29.045
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2012-12-31
实施日期
2013-10-01
摘要
本标准采用区熔拉晶法和光谱分析法来测量多晶硅棒中的施主、受主杂质浓度。测得的施主、受主杂质浓度可以用来计算按一定的目标电阻率生长单晶硅棒所需要的掺杂量,也可以用来推算非掺杂硅棒的电阻率。

相似标准