你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

扫描探针显微镜漂移速率测量方法

标准编号
GB/T 29190-2012
中图分类号
A60
ICS分类号
17.180.99
发布单位
中国科学院
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2012-12-31
实施日期
2013-06-01
摘要
本标准规定了SPM 漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM 扫描图像的漂移速率测量基本方法。 本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。

相似标准