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300mm 硅单晶

标准编号
GB/T 29504-2013
中图分类号
H82
ICS分类号
29.045
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
摘要
本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω?cm~20Ω?cm 硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm 及以下技术需求的300mm 硅单晶抛光片。

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