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300mm 硅单晶抛光片

标准编号
GB/T 29506-2013
中图分类号
H82
ICS分类号
29.045
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
摘要
本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω?cm~20Ω?cm 规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直径300mm 直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90nm 技术需求的衬底片。

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