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300mm 硅单晶切割片和磨削片

标准编号
GB/T 29508-2013
中图分类号
H82
ICS分类号
29.045
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
摘要
本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω?cm~20Ω?cm 的硅单晶切割片和磨削片(简称硅片)产品的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直径300mm 直拉单晶经切割、磨削制备的圆形硅片,产品将进一步加工成抛光片,用于制作集成电路IC用线宽90nm 技术需求的衬底片。

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