你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

电子工业用气体 四氟化硅

标准编号
GB/T 31058-2014
中图分类号
G86
ICS分类号
71.100.20
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
摘要
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。 本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管 P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,也是生产多晶硅的重要原料。 分子式:SiF4。 相对分子质量:104.0786128(按2009年国际原子相对质量)。

相似标准