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半导体材料切削液
标准编号
GB/T 31469-2015
中图分类号
L90
ICS分类号
31-030
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2015-05-15
实施日期
2016-01-01
摘要
本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。 本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。
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