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电子工业用气体 六氟化钨

标准编号
GB/T 32386-2015
中图分类号
G86
ICS分类号
71.100.20
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2015-12-31
实施日期
2016-07-01
摘要
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。 分子式:WF6。 分子量:297.8304192(按2009年国际相对原子质量计算)。

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