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表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法

标准编号
GB/T 32495-2016
中图分类号
G04
ICS分类号
71.040.40
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2016-02-24
实施日期
2017-01-01
摘要
本标准详细规定了用扇形磁场或四极杆式二次离子质谱仪对硅中砷进行深度剖析的方法，以及用触针式轮廓仪或光学干涉仪深度定标的方法。本标准适用于砷原子浓度范围从1×10??16? atoms/cm?3～2.5×10??21? atoms/cm?3的单晶硅、多晶硅、非晶硅样品，坑深在50 nm及以上。

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