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硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

标准编号
GB/T 32814-2016
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2016-08-29
实施日期
2017-03-01
摘要
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。

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