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半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

标准编号
GB/T 32817-2016
中图分类号
L55
ICS分类号
31.080.99
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2016-08-29
实施日期
2017-03-01
摘要
本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（Micro-TAS）和微能源MEMS]。

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