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表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

标准编号
GB/T 32996-2016
中图分类号
G04
ICS分类号
71.040.40
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2016-10-13
实施日期
2017-09-01
摘要
本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。 本方法适用于测定金属上厚度为1 nm～10000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。

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