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玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法

标准编号
GB/T 33826-2017
中图分类号
Q34
ICS分类号
71.040.99
发布单位
中国科学院
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2017-05-31
实施日期
2017-12-01
摘要
本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。?本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。

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