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电子工业用气体 六氟乙烷

标准编号
GB/T 34091-2017
中图分类号
G86
ICS分类号
71.100.20
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2017-07-31
实施日期
2017-11-01
摘要
本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求，试验方法、包装、标志、贮存、运输和安全。 本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。

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