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含氟蚀刻废液处理处置方法

标准编号
GB/T 34697-2017
中图分类号
Z05
ICS分类号
13.030.20
发布单位
中国石油和化学工业联合会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
摘要
本标准规定了含氟蚀刻废液组成、处理处置方法及环境保护要求。 本标准适用于TFT-LCD液晶显示屏玻璃蚀刻、光伏行业蚀刻、IC硅片蚀刻、电极箔蚀刻及稀土蚀刻所产生含氟蚀刻废液的处理处置。

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