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微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

标准编号
GB/T 34893-2017
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
摘要
本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。 本标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1:10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MENS微结构。

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