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微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

标准编号
GB/T 34898-2017
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
摘要
本标准规定了谐振式传感器中MENS谐振敏感元件非线性振动特性参数的测试方法。 本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MENS敏感元件可参考使用。

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