你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

标准编号
GB/T 34899-2017
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
摘要
本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。 本标准适用于微机电系统（MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。

相似标准