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微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法

标准编号
GB/T 34900-2017
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
摘要
本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微双端固支梁结构表面形貌进行残余应变测量的方法。 本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微双端固支梁结构。

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