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半导体制造用气体处理指南

标准编号
GB/T 34971-2017
中图分类号
G86
ICS分类号
71.040.40
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
摘要
本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。 本标准适用于半导体制造用气体的处理。 　　

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