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电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准编号
GB/T 34972-2017
中图分类号
G86
ICS分类号
71.040.40
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
摘要
本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。 本标准适用的电子工业用气体种类：氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。 本标准适用的电子工业用气体取样状态：气态。

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