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微电子生产设备安装工程施工及验收规范

标准编号
GB 50467-2008
ICS分类号
31电子学
发布单位
住房和城乡建设部
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2008-12-15
实施日期
2009-07-01
摘要
本规范适用于集成电路、半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分产器件生产设备联动调试及试生产。

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