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硅片表面平整度测试方法

标准编号
GB/T 6621-2009
中图分类号
H80
ICS分类号
29.045
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
摘要
本标准规定了用电容位移传感器测定硅抛光片平整度的方法,切割片、研磨片、腐蚀片也可参考此方法。 本标准适用于测量标准直径76mm、100mm、125mm、150mm、200mm,电阻率不大于200Ω?cm厚度不大于1000μm 的硅抛光片的表面平整度和直观描述硅片表面的轮廓形貌。

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